纳米级气浮检测平台
气浮平台采用高阻尼、高刚性(气浮刚度可达150N/μm)气浮模块,气浮面为陶瓷及天然大理石(极小的变形量及膨胀系数)。运用源采用直驱电机,极佳的速度链波,能有效抑制外界对气浮平台的干扰。
产品描述

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