纳米级气浮平台
气浮直线电机平台是开云推出的纳米级超高精密运动平台。采用进口气浮模块, 具有高阻尼、高刚性(气浮刚度可达150N/μm),气浮面为花岗岩表面,保证运动平面度及直线度。 自主研发磁性预压设计,提升其稳定性, 抗外界干扰,解决气浮弊端。动力采用悬浮直驱电机,无磁顿力、极佳的速度链波,搭配极小膨胀系数的铟钢尺, 稳定的重复精度。平台无摩擦损耗、 无需润滑、 无需维护。
产品描述

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